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真空舱体 W160mm × H160mm × D325 mm (8 升)
* 铝，可视观察玻璃，带安全保护舱门
* 40KHz 射频发生器
* 针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-300W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W600mm × H1700mm × D650mm
* 电源：AC 400V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D4B (4 m3/h)
