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* 真空舱体 Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
* 外形尺寸W345mm ×H220mm ×D420mm
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 针孔电极
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率连续可调 0-100W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
配件选装指南:
