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真空舱体 Φ150mm × L320 mm 水平 (5 升
*石英/玻璃舱体Φ130mm,L300mm舱体容量：约4升/5升
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率连续可调 0-200W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h)
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
配件选装指南
